فیلترهای نیمه هادی

فیلترهای گاز نیمه هادی:

تضمین خلوص گاز بی عیب و نقص در چیپ سازی

در دنیای پیچیده تولید نیمه هادی ها، جایی که دقت و خلوص در درجه اول اهمیت است، کیفیت

گازهای مورد استفاده نقش مهمی در تعیین موفقیت فرآیند ایفا می کند. ناخالصی ها، حتی در سطوح بی نهایت کوچک،

می تواند مدارهای ظریف ریزتراشه ها را خراب کند و آنها را معیوب و غیرقابل استفاده کند. برای حفاظت

در این فرآیند حیاتی، فیلترهای گاز نیمه هادی به عنوان نگهبانان تسلیم ناپذیر ایستاده اند و آلاینده ها را با دقت حذف می کنند.

و اطمینان از کیفیت بکر گازهایی که از خطوط تولید عبور می کنند.

ویژگی ها و مزایای بسیار عالی فیلترهای فلزی متخلخل وجود دارد

1. ساخته شده در یک محیط مدرن اتاق تمیز

این فیلترها در یک اتاق تمیز و پیشرفته متولد می شوند، محیطی که در آن شرایط بی عیب و نقص به دقت حفظ می شود تا هرگونه آلودگی احتمالی به حداقل برسد. آنها تحت یک فرآیند ساخت دقیق قرار می گیرند که با جوشکاری دقیق در فضایی از هوای تصفیه شده شروع می شود. شستشوی آب دیونیزه شده بعدی، و به دنبال آن تصفیه نیتروژن فیلتر شده با فشار بالا، هرگونه ذرات ماندگار را از بین می برد و خطر ریزش ذرات را کاهش می دهد.

2. راندمان حذف ذرات استثنایی

این فیلترها با راندمان فیلتراسیون قابل توجه 9 LRV برای ذرات 0.003μm، با رعایت استانداردهای سختگیرانه تعیین شده توسط روش های تست SEMI F38 و ISO 12500، به طور موثر ذرات و ذرات ناشی از خوردگی تولید شده از قطعات متحرک را حذف می کنند و خلوص بکر را تضمین می کنند. گازها

3. مقاومت مکانیکی برتر

این فیلترها برای تضمین انعطاف پذیری استثنایی در فرآیندهای تولیدی و محیط هایی که اغلب از فشار گاز بالا استفاده می کنند، به شدت آزمایش شده اند، این فیلترها عملکردی تزلزل ناپذیر در طول عمر خود ارائه می دهند.

4. فراتر از بالاترین استانداردهای صنعت

این فیلترها با پیشی گرفتن از الزامات سختگیرانه فیلتراسیون انتقال گاز برای پردازش نیمه هادی، تحت آزمایش های دقیق قرار می گیرند تا تضمین کنند که بازده فیلتراسیون حیاتی، کنترل جریان دقیق و استانداردهای ایمنی مورد نیاز سیستم های انتقال گاز در تولید نیمه هادی را برآورده می کنند.

5. تعهد تزلزل ناپذیر به ایمنی

برای محافظت در برابر قرار گرفتن در معرض گازهای قابل اشتعال، خورنده، سمی و پیروفوریک، محفظه‌های فیلتر تحت آزمایش دقیق نشت قرار می‌گیرند و اطمینان حاصل می‌کنند که نرخ نشتی قابل‌توجهی کمتر از 1x10-9 atm scc/ثانیه دارند. این تعهد تزلزل ناپذیر به ایمنی تضمین می کند که گازهای خطرناک مهار شده و از ایجاد آسیب جلوگیری می کند.

6. خلوص سازش ناپذیر برای برتری چیپ سازی

این فیلترهای گاز از طریق قابلیت فیلتراسیون استثنایی، تعهد تزلزل ناپذیر به ایمنی، و رعایت بالاترین استانداردهای صنعتی، نقشی محوری در حفاظت از فرآیند پیچیده تولید نیمه هادی ایفا می کنند. آنها به عنوان نگهبان خلوص می ایستند و تضمین می کنند که تنها تمیزترین گازها از طریق خطوط تولید جریان می یابد و راه را برای ایجاد ریزتراشه های با کارایی بالا که قدرت دنیای مدرن ما را تامین می کنند، هموار می کنند.

انواع فیلترهای نیمه هادی

فیلترهای نیمه هادی در کاربردهای مختلفی استفاده می شوند، از جمله:

* ساخت وسایل الکترونیکی:

فیلترهای نیمه هادی برای حذف ذرات از آب فوق خالص، گازها و مواد شیمیایی مورد استفاده در ساخت نیمه هادی ها استفاده می شود.

* مسطح سازی مکانیکی شیمیایی (CMP):

فیلترهای نیمه هادی برای حذف ذرات از دوغاب CMP استفاده می شود که برای پولیش ویفرهای نیمه هادی استفاده می شود.

* زیست پزشکی:

فیلترهای نیمه هادی برای حذف ذرات از مایعات مورد استفاده در تشخیص و درمان پزشکی استفاده می شود.

* محیط زیست:

فیلترهای نیمه هادی برای حذف ذرات از هوا و آب استفاده می شود.

چهار نوع اصلی از فیلترهای نیمه هادی وجود دارد:

1. فیلترهای غشایی:

فیلترهای غشایی از یک لایه نازک و متخلخل ساخته شده اند که به مایعات اجازه می دهد در حالی که ذرات را به دام می اندازند عبور کنند.

 

فیلترهای غشایی برای نیمه هادی ها

 

 

2. فیلترهای عمق:

فیلترهای عمقی از یک بستر ضخیم و پرپیچ و خم از مواد ساخته شده اند که ذرات را در جریان عبور از فیلتر به دام می اندازد.

 

فیلترهای عمق برای نیمه هادی ها

 

 

3. فیلترهای جاذب:

فیلترهای جاذب از ماده ای ساخته شده اند که ذرات را جذب کرده و روی آن ها نگه می دارد.

 

 فیلترهای جاذب برای نیمه هادی ها

 

 

4. فیلترهای فلزی متخلخل

فیلترهای فلزی متخلخل نوعی فیلتر عمق هستند که معمولاً در ساخت نیمه هادی ها استفاده می شود. آنها از پخت پودر فلز ریز به یک ساختار متخلخل ساخته می شوند. فیلترهای فلزی متخلخل به دلیل دوام بالا، راندمان فیلتراسیون بالا و توانایی مقاومت در برابر دما و فشار بالا شناخته می شوند.

مزایای فیلترهای فلزی متخلخل برای ساخت نیمه هادی:

* ماندگاری بالا:

فیلترهای فلزی زینتر شده بسیار بادوام هستند و می توانند در شرایط عملیاتی سخت از جمله دما، فشار و مواد شیمیایی خورنده بالا مقاومت کنند.

 

* راندمان فیلتراسیون بالا:

فیلترهای فلزی زینتر شده می توانند ذرات تا 0.01 میکرون را حذف کنند که برای محافظت از اجزای نیمه هادی ظریف در برابر آلودگی ضروری است.

* طول عمر طولانی:

فیلترهای فلزی زینتر شده طول عمر بالایی دارند و به راحتی قابل تمیز کردن و استفاده مجدد هستند.

* سازگاری شیمیایی:

فیلترهای فلزی زینتر شده با طیف گسترده ای از مواد شیمیایی سازگار هستند و آنها را برای استفاده در انواع فرآیندهای تولید نیمه هادی مناسب می کند.

کاربرد فیلترهای فلزی متخلخل در ساخت نیمه هادی:

*تصفیه گاز:

فیلترهای فلزی متخلخل برای تصفیه گازهای مورد استفاده در تولید نیمه هادی ها مانند نیتروژن، هیدروژن و اکسیژن استفاده می شود.

* فیلتراسیون شیمیایی:

فیلترهای فلزی تف جوشی شده برای فیلتر کردن مواد شیمیایی مورد استفاده در تولید نیمه هادی ها مانند اسیدها، بازها و حلال ها استفاده می شود.

* فیلتراسیون آب فوق خالص:

فیلترهای فلزی متخلخل برای فیلتر کردن آب فوق خالص مورد استفاده در تولید نیمه هادی استفاده می شود.

* فیلتراسیون دوغاب CMP:

از فیلترهای فلزی تف جوشی شده برای فیلتر دوغاب CMP استفاده می شود که برای صیقل دادن ویفرهای نیمه هادی استفاده می شود.

فیلترهای فلزی زینتر شده بخش مهمی از فرآیند تولید نیمه هادی هستند که به اطمینان از تولید دستگاه های نیمه هادی با کیفیت بالا کمک می کنند.

 

نوع فیلتر نیمه هادی مورد استفاده در یک کاربرد خاص به اندازه ذرات حذف شده، نوع سیال فیلتر شده و سطح فیلتراسیون مورد نظر بستگی دارد.

در اینجا یک جدول خلاصه ای از انواع فیلترهای نیمه هادی آورده شده است:

نوع فیلتر	توضیحات	برنامه های کاربردی	تصویر
فیلترهای غشایی	از یک لایه نازک و متخلخل ساخته شده است که اجازه می دهد تا مایعات در حین به دام انداختن ذرات از آن عبور کنند.	تولید الکترونیک، CMP، زیست پزشکی، محیط زیست	فیلترهای غشایی برای نیمه هادی ها
فیلترهای عمق	ساخته شده از یک بستر ضخیم و پرپیچ و خم از مواد که ذرات را هنگام عبور از فیلتر به دام می اندازد.	CMP، زیست پزشکی، محیطی	فیلترهای عمق برای نیمه هادی ها
فیلترهای جاذب	ساخته شده از ماده ای که ذرات را جذب کرده و روی آن ها نگه می دارد.	تولید الکترونیک، CMP، زیست پزشکی، محیط زیست	فیلترهای جاذب برای نیمه هادی ها
فیلترهای فلزی متخلخل	از پخت پودر فلز ریز به یک ساختار متخلخل ساخته شده است.	تصفیه گاز، فیلتراسیون شیمیایی، فیلتراسیون آب فوق خالص، فیلتراسیون دوغاب CMP	در پنجره ای جدید باز می شودwww.hengko.com فیلترهای فلزی متخلخل برای نیمه هادی ها

برنامه

فیلترهای گاز نیمه هادی فلزی متخلخل به طور گسترده در کاربردهای مختلف در صنعت نیمه هادی استفاده می شود. خواص منحصر به فرد آنها، مانند راندمان فیلتراسیون بالا، دوام، و توانایی مقاومت در برابر دما و فشار بالا، آنها را به یکی از اجزای ضروری سیستم های انتقال گاز در تولید نیمه هادی تبدیل می کند.

در اینجا برخی از کاربردهای خاص فیلترهای گاز نیمه هادی فلزی متخلخل آورده شده است:

1. تولید ویفر:

فیلترهای فلزی تف جوشی شده برای تصفیه گازهای مورد استفاده در تولید ویفر مانند نیتروژن، هیدروژن و اکسیژن استفاده می شود. این گازها برای فرآیندهایی مانند رشد اپیتاکسیال، اچینگ و دوپینگ ضروری هستند.

2. فیلتراسیون شیمیایی:

فیلترهای فلزی تف جوشی شده برای فیلتر کردن مواد شیمیایی مورد استفاده در تولید نیمه هادی ها مانند اسیدها، بازها و حلال ها استفاده می شود. این مواد شیمیایی برای اهداف مختلفی از جمله تمیز کردن، حکاکی کردن و پرداخت استفاده می شود.

3. فیلتراسیون آب فوق خالص:

فیلترهای فلزی متخلخل برای فیلتر کردن آب فوق خالص (UPW) مورد استفاده در تولید نیمه هادی استفاده می شود. UPW برای تمیز کردن و شستشوی ویفرها و همچنین برای تهیه مواد شیمیایی ضروری است.

4. فیلتراسیون دوغاب CMP:

از فیلترهای فلزی تف جوشی شده برای فیلتر دوغاب CMP استفاده می شود که برای صیقل دادن ویفرهای نیمه هادی استفاده می شود. CMP یک فرآیند حیاتی در ساخت ریزتراشه ها است.

5. فیلتراسیون نقطه استفاده (POU):

فیلترهای فلزی تف جوشی شده اغلب به عنوان فیلترهای POU استفاده می شوند که مستقیماً در محل استفاده نصب می شوند تا بالاترین سطح فیلتراسیون را ارائه دهند. فیلترهای POU به ویژه برای کاربردهایی که خلوص گاز حیاتی است، مانند ساخت ریزپردازنده ها و سایر دستگاه های با کارایی بالا، مهم هستند.

6. انتقال گاز با خلوص بالا:

فیلترهای فلزی متخلخل در سیستم های انتقال گاز با خلوص بالا برای حذف آلاینده ها از گازهای مورد استفاده در تولید نیمه هادی استفاده می شوند. این آلاینده ها می توانند شامل ذرات، رطوبت و ترکیبات آلی باشند.

7. تولید میکروالکترونیک:

فیلترهای فلزی زینتر شده در ساخت میکروالکترونیک ها مانند رایانه ها، تبلت ها، تلفن های همراه، حسگرهای اینترنت اشیا و دستگاه های کنترلی استفاده می شوند.

8. فیلتراسیون سیستم های میکرو الکترومکانیکی (MEMS):

فیلترهای فلزی متخلخل در فیلتراسیون MEMS که فرآیند حذف آلاینده ها از سیستم های میکرو الکترومکانیکی است، استفاده می شود. MEMS در کاربردهای مختلفی از جمله حسگرها، محرک ها و مبدل ها استفاده می شود.

9. فیلتر کردن دستگاه ذخیره سازی داده ها:

فیلترهای فلزی زینتر شده در فیلتراسیون دستگاه های ذخیره سازی داده ها استفاده می شود، که فرآیند حذف آلاینده ها از دستگاه های ذخیره سازی داده ها، مانند هارد دیسک و درایوهای حالت جامد است.

علاوه بر این کاربردهای خاص، فیلترهای گاز نیمه هادی فلزی متخلخل نیز در کاربردهای مختلف دیگری در صنعت نیمه هادی استفاده می شوند. تطبیق پذیری و قابلیت اطمینان آنها آنها را به ابزاری ضروری برای تولیدکنندگان نیمه هادی تبدیل می کند.

به دنبال فیلترهای گاز نیمه هادی فلزی با کیفیت بالا هستید؟

HENGKO شریک مورد علاقه شما برای راه حل های OEM در سیستم های تولید نیمه هادی است.

فیلترهای مهندسی دقیق ما قابلیت اطمینان و کارایی را در فرآیندهای شما تضمین می کند و به شما در بازار رقابتی برتری می دهد.

چرا فیلترهای HENGKO را انتخاب کنید؟

* کیفیت و دوام برتر
* راه حل های سفارشی متناسب با نیازهای خاص شما
* بهبود عملکرد برای تولید نیمه هادی

اجازه ندهید چالش های فیلتراسیون تولید شما را متوقف کند.

امروز با ما تماس بگیرید تا بفهمید چگونه فیلترهای فلزی متخلخل ما می توانند سیستم تولید شما را متحول کنند.

تماس با ما درka@hengko.com

با HENGKO شریک شوید و گامی به سوی تعالی در تولید نیمه هادی بردارید!