فیلتر گاز فلزی درون خطی برای سیستم تصفیه گاز نیمه هادی
فیلترهای گاز فلزی در خط متخلخل برای دفع ناخالصی ها از جمله رطوبت، اکسیژن، دی اکسید کربن، مونوکسید کربن، هیدروکربن ها و کربونیل های فلزی با استفاده از یک بستر واکنشی از مواد کار می کنند.ناخالصی ها از جریان گاز در مناطقی که فیلتر ذرات سنتی بی اثر است خارج می شوند.مواد ما حذف آلایندههای سطح پسزمینه را بدون کمک به فلزات یا سایر آلایندههای مضر در جریان فرآیند فراهم میکنند.
فیلترهای تمام فلزی با جریان بالا نگرانی ها و نیازها را برای تامین گاز فرآیندی بدون ذرات در محل تحویل برآورده می کنند.فیلتر گاز فلزی خطی یک استفیلتر فلزی فولاد ضد زنگ متخلخلبا بدنه فولادی ضد زنگما محصول را از یک فیلتر متخلخل می گیریم (فیلتر فولاد ضد زنگ متخلخلتا محصول نهایی، یک فیلتر گاز در تولید محصولاتی مانند نیمه هادی ها، نمایشگرهای صفحه تخت و پنل های خورشیدی استفاده می شود.
موجود بافیلتر فلزی متخلخلفیلتراسیون برای تمام گازهای فرآینددر انواع مختلف اتصالات وجود دارد تا نیازهای نصب مشتریان ما را برآورده کند.با فناوری فیلتراسیون 0.1 میکرومتر برای پاسخگویی به سختترین نیازهای ارسال گاز فله بسیار تمیز موجود است.
برنامه های کاربردی:
گازهای بی اثر
گازهای نجیب
گازهای غیر واکنشی
گازهای هیدرید
پرفلوئوروکربن و گازهای خورنده.