فیلترهای آب‌بندی IGS با عملکرد بالا از نوع C و نصب سطحی برای سیستم‌های انتقال گاز نیمه‌هادی
توضیحات
فیلترهای نصب سطحی HENGKO برای برآورده کردن نیازهای سختگیرانه سیستم‌های گازی یکپارچه مورد استفاده در ابزارهای OEM نیمه‌هادی طراحی شده‌اند. این فیلترها با ارائه فیلتراسیون پیشرو در صنعت در 0.003 میکرومتر، عملکرد و قابلیت اطمینان استثنایی را با راندمان جذب ذرات ≥99.9999999٪ (9-LRV) در 120 SLPM تضمین می‌کنند.
این فیلترها که از پودر فولاد ضد زنگ 316L مقاوم سینتر شده برای عنصر فیلتر و محفظه ساخته شده‌اند، با مشخصات SEMI F86-0304 مطابقت دارند و دارای اجزای دو پورتی متناسب با سیستم‌های توزیع گاز 1.125 اینچی با پیکربندی C-seal هستند. آنها از حداکثر فشار ورودی 3.4 مگاپاسکال در دمای 100 درجه سانتیگراد و حداکثر اختلاف فشار عملیاتی 0.69 مگاپاسکال در دمای 100 درجه سانتیگراد پشتیبانی می‌کنند.
این فیلترهای تخصصی، که با مشخصات آب‌بند نوع C و نوع W سازگار هستند، با آزادسازی ذرات، تمیزی پایین‌دست را به ارمغان می‌آورند.
با پرداخت سطحی Ra<1.6 میکرومتر در قسمت بیرونی و Raاین فیلترها که ضخامت داخلی آنها کمتر از 0.13 میکرومتر است، برای مقاومت در برابر دماهای بالا تا 460 درجه سانتیگراد طراحی شده‌اند. این فیلترها که برای ادغام آسان و ارتقاء طراحی ماژولار مهندسی شده‌اند، نصب و نگهداری را ساده می‌کنند و به بهینه‌سازی عملکرد سیستم در کاربردهای تحویل و کنترل گاز نیمه‌هادی کمک می‌کنند.
ویژگی محصول
▶ ساختار کلی از جنس فولاد ضد زنگ 316L
▶ طراحی مینیاتوری، ساختار جمع و جور، صرفه جویی در فضا
▶ ویژگی‌های عالی جایگزینی و دفع گاز
▶ مقاوم در برابر دمای بالا، فشار بالا و خوردگی
▶ محفظه استیل ضد زنگ 316L الکتروپولیش شده
▶ نصب و نگهداری آسان و کارآمد
▶ آب‌بندی مکانیکی، از نظر ساختاری به محیط جوش داده نشده است
برگه اطلاعات
| پارامترهای فنی | ارزش‌ها |
|---|---|
| جنس المنت فیلتر | پودر متخلخل فولاد ضد زنگ 316L |
| جنس بدنه | فولاد ضد زنگ 316L |
| حداکثر فشار ورودی | ۳.۴ مگاپاسکال در ۱۰۰ درجه سانتیگراد |
| حداکثر دیفرانسیل عملیاتی | 0.69 مگاپاسکال در 100 درجه سانتیگراد |
| میزان نشتی تایید هلیوم | ۱x۱۰⁻¹¹ سی‌سی در دقیقه |
| میزان نشتی تست هلیوم | ۱x۱۰⁻⁹ سی‌سی در دقیقه |
| درمان سطحی | سطح بیرونی Ra<1.6 میکرومتر |
| سطح داخلی Ra<0.13 میکرومتر | |
| حداکثر دمای عملیاتی | ۴۶۰ درجه سانتیگراد |
| راندمان جذب ذرات | ≥99.9999999% (9-LRV) @ 120 SLPM (MPPS مرجع، همه ذرات) |
| نظافت پایین‌دست | انتشار ذرات:<0.03 ذره در لیتر (کمتر از ۱ ذره در فوت مکعب) |
| مواد فرار:رطوبت کمتر از 10 ppb | |
| اندازه جذب ذرات | ≥0.003 میکرومتر |
| محدوده جریان | 0 ~ 120 سیل در دقیقه |
اندازه
شماره قطعه‌ای که می‌توانید سفارش دهید و جزئیات اندازه در اینجا آمده است:
| مدل محصول | نرخ جریان | ارتفاع (میلی‌متر) | دقت فیلتراسیون | سطح تمیز کردن |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | ۱۰ سیل در دقیقه | ۵۱.۶ | ۰.۰۰۳ میکرومتر | C |
| Z01B-00638 | ۴۰ سیل در دقیقه | ۸۲.۹ | ۰.۰۰۳ میکرومتر | C |
| Z01B-00687 | ۸۰ سیل در دقیقه | ۱۲۶.۲ | ۰.۰۰۳ میکرومتر | C |
| Z01B-00688 | ۱۲۰ سیل در دقیقه | ۱۶۷.۹ | ۰.۰۰۳ میکرومتر | C |
کاربردهای معمول
برای استفاده با W-seal و C-seal، سیستم‌های تحویل گاز مدولار روکار ۱.۱۲۵ اینچی و ۱.۵ اینچی.
پیام خود را برای ما ارسال کنید:
